微米单位

微米是长度单位，1微米相当于1米的一百万分之一。此外，在ISO2955的国际标准中，“u”已经被接纳为一个代替“μ”来代表10-6的国际单位制符号。微米也是红外线波长、细胞大小、细菌大小等的数量级。

换算关系为1000微米=1毫米，100微米=0.1毫米，10微米=0.01毫米，1微米=0.001毫米。1微米=1000纳米。

微米技术

微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm（10-6m）的体系。20世纪60年代后期，研究人员实现了机械装置的小型化和批量制作，这项技术给机械领域带来的进步，就像集成电路技术给电子领域带来的一样。微米技术也称为微机电系统(MEMS)，其始于1969年美国西屋(Westinghouse)公司设计的谐振栅—场效应晶体管。接下来的十年中，一些制造厂商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器。技术上的突破一直持续到20世纪80年代初，使用新型多晶硅表面微加工技术来制造用于磁盘驱动磁头的驱动器。

到了80年代后期，MEMS器件的潜力被认可，开始广泛应用于微电子和生物医药工业领域。25年中，MEMS已经从技术好奇心的领域来到了充满商业潜力的世界。今天，MEMS器件在汽车安全气囊、喷墨打印机、血压监测仪、投影显示系统以及空间系统中均成为核心部件，已经展现出广泛的用途。可以预见，在不远的将来，这些MEMS器件将像微电子产品一样普及。