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双探针法测量薄膜厚度的原理

2024-08-30 11:20:17

双探针法测量薄膜厚度的原理是直流电流在样品表面流过时,根据欧姆定律,电流的大小与样品电阻的大小成反比。双探针法利用了电阻的三要素:电阻率、导体长度、导体截面积。

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