中国有哪些光刻机上市公司

中芯集成

中芯集成电路（宁波）有限公司，成立于2016年10月，总部位于浙江省宁波市北仑区，公司专注于射频前端、高压模拟和光电集成特种工艺半导体领域，现已建设和运营两条具有业界先进技术水平的特种工艺集成电路晶圆制造产线。

大族激光

大族激光科技产业集团股份有限公司于1996年在中国深圳创立，于2004年在深圳证券交易所上市，是国家重点高新技术企业、国家级创新型试点企业、国家科技成果推广示范基地—重点推广示范企业、国家规划布局内重点软件企业、广东省装备制造业重点企业、广东省名牌产品企业，主要科研项目被认定为国家级火炬计划项目。

英唐智控

深圳市英唐智能控制股份有限公司始建于2001年，是专业提供小型生活电器智能化服务的高科技企业。公司拥有多项专利，公司先后获得深圳市高新技术企业、深圳市软件百强企业、深圳市软件出口二十强企业、诚信中小企业及高新技术企业等称号。